石英坩埚的功能特点有哪些
发布时间：
2022-09-16
石英坩埚可在1450度以下运用，分通明和不通明两种。用电弧法制的半通明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，开展大规模集成电路必不可少的根底材料。
石英坩埚的功能特点：
1．石英坩埚可在1450度以下运用，分通明和不通明两种。用电弧法制的半通明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，开展大规模集成电路必不可少的根底材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚替代了小的通明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺度大精度高、保温性好、节约能源、质量安稳等长处。
2、不能和HF触摸，高温时，很容易和苛性碱及碱金属的碳酸盐效果。
3．石英坩埚适于用K2S2O7，KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。
4．石英质脆，易破，运用时要注意。
5．除HF外， 石英玻璃坩埚 一般稀无机酸可用作清洗液。
国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家运用22及以上的坩埚。现在国内坩埚出产厂家出产的18和20英寸坩埚技术都对比老练。其出产运用质料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其请求。其质料里杂质在出产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其安稳性都有必定影响。
现在坩埚出产涂层技术已被大多数厂家运用就是在一般石英砂溶制的坩埚外表涂上一层高纯度石英砂使其构成细密层，其细密层能阻挠单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反响进步成晶率。
相关新闻